在目前半导体工厂的制造过程中，要用到约50种不同种类的特殊气体，其中不乏易燃易爆和有毒有害气体，如何确保生产过程中的气体使用安全，一直是企业厂务系统关注的焦点。

特种气体分类

半导体制造业所使用的特种气体主要可分为四个大类。

易燃气体

易燃气体，是指在标准压力下，在与空气的混合物中按体积占13%或更少时可点燃的气体或与空气混合，不论燃烧下限值如何，可燃范围至少为12个百分点的气体。

如甲烷在空气中的爆炸极限约为5%至15%。属于易燃气体有氢气、甲烷、乙烯、乙炔等。

毒性气体

半导体制造行业中使用的很多气体是对人体有害有毒的。其中以砷化氢、乙硼烷、三氢化磷等气体的毒性最大。

这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在储存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。

全氟丁二烯、八氟环戊烯、三氟化氮、氟甲烷、氯化氢、氟化氢、六氟化钨等都属于毒性气体。

惰性气体

惰性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上气体严格。

但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成工伤事故，属于这类的气体有四氟化碳、六氟化硫等。

氧化性气体

这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有三氟化氯、氯气等。

半导体特气监测解决方案

针对半导体工厂的特种气体泄漏监测需求，谱育科技推出了GDM系列特气检测仪产品。

GDM-2100 Series特气检测仪

GDM-2100 Series特气检测仪是一款固定泵吸式气体检测仪，可从本地或远端将样气抽取到检测仪内部的传感器流路中，测量出相应的气体浓度，采样距离可达30米。

➢参数配置：适用于电化学、NDIR、催化燃烧测量

➢测量气体：易燃气体、有毒有害气体、惰性气体、氧化性气体

➢传输方式：4-20mA、以太网、三路继电器

➢供电方式：48V PoE或24V DC

➢采样接口：1/4 inch或6mm

➢采样距离：≤30米

GDM-3100 Series特气检测仪

GDM-3100Series是一款便携泵吸式特气检测仪，检测仪标配大容量锂电池组，可在无外接电源的情况下连续进行采样和检测，仪器内置报警蜂鸣器，在检测浓度超过报警阈值时会发出相应的报警提示音，可在半导体厂务系统等多种应用场景下使用。

➢参数配置：适用于电化学、NDIR、催化燃烧测量

➢测量气体：易燃气体、有毒气体、惰性气体、氧化性气体

➢传输方式：以太网

➢供电方式：自带可充电锂电池

➢电池参数：124Wh，三元锂电池

➢采样接口：1/4 inch或6mm

➢采样距离：≤30米

行业应用

半导体、微电子、光伏、光纤、TFT-LCD、LED、生物医药等。

应用业绩

华润微电子、卓胜微、驰拓科技、中电科声光电、京东方、乾照光电、大阳日酸、国家光电实验室等。